我司配備針對SiC晶片的各種先進檢測設備,可提供SiC晶片膜厚、載流子濃度、粗糙度等檢測與分析服務
SiC晶圓觀察分析
SiC晶圓表面載流子濃度檢測
原子力顯微鏡測試SiC外延片表面粗糙度
測試SIC晶圓平坦度和厚度變化
檢測和分析 SiC 外延中的表面缺陷和晶體缺陷